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申请/专利权人：东莞市日月辉科技有限公司
摘要：本实用新型涉及多晶圆清洗花篮技术领域，且公开了多晶圆清洗花篮，包括若干个晶圆设置在花篮的内部，驱动结构安装在花篮和通风结构的外侧，两个通风结构分别安装在花篮的外侧，通风结构包括壳体、安装板、固定块和转轴，壳体的外壁上开设有气槽。本实用新型通过通风结构的设置，将清洗后的晶圆放置在每个挡块之间形成的卡槽内，表面水流通过花篮底部设置的开口流出，这时通过转动转杆带动驱动齿轮进行转动，驱动齿轮进行转动，带动从动齿轮进行转动，从而带动转轴进行转动，安装板和转轴转动时，产生气流，气流通过壳体的外壁上气槽经过壳体内部，到达通槽，经过晶圆对晶圆表面的水渍进行干燥。
主权项：1.多晶圆清洗花篮，包括花篮1、晶圆2、驱动结构3和通风结构4，其特征在于：若干个所述晶圆2设置在花篮1的内部，所述驱动结构3安装在花篮1和通风结构4的外侧，两个所述通风结构4分别安装在花篮1的外侧；所述通风结构4包括壳体401、安装板402、固定块403和转轴404，所述壳体401的外壁上开设有气槽。
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百度查询： 东莞市日月辉科技有限公司 多晶圆清洗花篮
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