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申请/专利权人:新特能源股份有限公司;新疆新特晶体硅高科技有限公司
摘要:本发明公开了一种多晶硅生产中潜在杂质存在形式筛选方法及系统,该方法包括以下步骤:1确定杂质生成反应参与物质;2确定反应方程;3建模并优化;4计算吉布斯自由能;5计算溶剂化自由能;6对所有的信息进行综合筛选,最终确定符合存在条件的潜在杂质存在形式。利用本发明基于密度泛函理论计算方法,解决了多晶硅精馏提纯过程中杂质具体存在形式确定的问题。本发明解决了现有技术条件下实验检测方法无法解决的问题,对于后续多晶硅生产中痕量杂质去除具有重要的意义。该方法节约了大量分析检测费用,对多晶硅产业中使用的吸附剂、络合剂的开发及优化具有重要意义。
主权项:1.一种多晶硅生产中潜在杂质存在形式筛选方法,其特征在于,包括以下步骤:1确定杂质生成反应参与物质:根据三氯氢硅的沸点、相对分子质量物理性质、现有检测技术手段测试得到的杂质存在元素种类,筛选参与杂质生成反应的反应物、生成物的具体存在形式;2确定反应方程:分析杂质生成反应的反应物性质及合成反应体系的反应条件,根据物质守恒定律及热力学基本定律确定杂质生成反应的生成物,确定生成物状态,建立杂质生成反应的反应方程;3建模并优化:构建步骤2确定的杂质生成反应中所有反应物及生成物的模型,并对建构的模型进行能量最小化结构优化和振动分析,得到的模型作为初始模型;4计算吉布斯自由能:计算初始模型中确定的杂质生成反应方程式的吉布斯自由能变,对参与杂质生成反应的反应物、生成物进行筛选;5计算溶剂化自由能:计算步骤4中筛选后剩余物质的隐式溶剂模型下的溶剂化自由能;6对所有的信息进行综合筛选,最终确定符合存在条件的潜在杂质存在形式。
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百度查询: 新特能源股份有限公司 新疆新特晶体硅高科技有限公司 多晶硅生产中潜在杂质存在形式筛选方法及系统
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