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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种面向桥梁微形变监测的基于微流道技术的平面电容型微位移传感器，其中器件包括具有连通器结构的液压位移放大机构、多层微流道结构和平面电容。本发明通过液压放大机构将主流道的微位移信号转化为微流道中的液位变化后，利用平面电容检测原理实现液位变化的测量，从而计算得到被测微位移的变化。此外，本发明还根据电场强弱布置流道，确保待测流体位于传感器的敏感区域，实现传感器灵敏度的显著增强。
主权项：1.一种基于微流道技术的平面电容型微位移传感器，其特征在于，包括液压位移放大机构、多层微流道结构和平面电容；所述液压位移放大机构用于获取待测结构的微位移信号并将其转化为液位变化，液压位移放大机构包括检测杆和连通器，所述连通器包括液体腔、设置在液体腔内的活塞、与活塞连接并伸出液体腔的移动端；所述检测杆一端与待测结构固连，另一端与连通器的移动端固连；所述多层微流道结构包括多层上下平行布置的微流道层，上下相邻微流道层之间的微流道首尾连通，且最下游的微流道层的微流道末端封闭；最上游的微流道层的微流道入口端与液体腔连通；所述平面电容贴合在多层微流道结构的下方，用于将多层微流道结构内的液位变化转化为电信号实现微位移检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种面向桥梁微形变监测的基于微流道技术的平面电容型微位移传感器
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