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申请/专利权人：乂易半导体科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种温度监测装置，用于监测炉管的内部温度，炉管内设置有晶舟，晶舟上沿高度方向平行放置有若干晶圆，温度监测装置包括多个沿晶舟的高度方向设置的测温模块，测温模块包括配套设置的高温计、发射板及辐射传导窗口，高温计位于炉管外，辐射传导窗口设置在炉管的侧壁上，发射板位于炉管内，且发射板与晶圆呈预设角度设置，发射板表面的热辐射经辐射传导窗口传递给高温计，高温计基于接收到的热辐射输出炉管在不同高度处的温度。通过设置高温计接收来自发射板的热辐射以实时监控炉管内的温度，实现了对炉管内温度的非接触式测量，进而便于对炉管内温度进行直观且精准地调控，提高产品的合格率。
主权项：1.一种温度监测装置，用于监测炉管的内部温度，所述炉管内设置有晶舟，所述晶舟上沿高度方向平行放置有若干晶圆，其特征在于，所述温度监测装置包括多个沿所述晶舟的高度方向设置的测温模块，所述测温模块包括配套设置的高温计、发射板及辐射传导窗口，所述高温计位于所述炉管外，所述辐射传导窗口设置在所述炉管的侧壁上，所述发射板位于所述炉管内，且所述发射板与所述晶圆呈预设角度设置，所述发射板表面的热辐射经所述辐射传导窗口传递给所述高温计，所述高温计基于接收到的热辐射输出所述炉管在不同高度处的温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乂易半导体科技(无锡)有限公司 温度监测装置
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