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微能源芯片及其构成的微能源芯片组件、换热器 

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申请/专利权人:浙江炽昇热泵有限公司

摘要:一种微能源芯片及其构成的微能源芯片组件及换热器。所述微能源芯片包括一对第一贯通孔;一对第二贯通孔;第一换热面,包括一换热区、连通第一贯通孔与所述第一换热区的第一进出口区、位于所述第二贯通孔与所述第一换热区之间的第一围坝;第二换热面,包括第二换热区、连通第二贯通孔与所述第二换热区的第二进出口区、位于所述第一贯通孔与所述第二换热区之间的第二围坝;其中,所述第二换热区、第二进出口区、第二围坝分别与所述第一换热区、第一围坝、第一进出口区沿微能源芯片的厚度方向对齐。本发明在两个换热面分别设置第一换热区、第二换热区,因此可以从微能源芯片的两面同时蚀刻,能够缩短蚀刻时间,提高制作效率。

主权项:1.一种微能源芯片,其特征在于,包括:一对第一贯通孔;一对第二贯通孔;第一换热面,包括自微能源芯片的第一换热面向第二换热面凹陷设置的第一换热区、连通第一贯通孔与所述第一换热区的第一进出口区、位于所述第二贯通孔与所述第一换热区之间的第一围坝;第二换热面,包括自微能源芯片的第二换热面向第一换热面凹陷设置的第二换热区、连通第二贯通孔与所述第二换热区的第二进出口区、位于所述第一贯通孔与所述第二换热区之间的第二围坝;其中,所述第二换热区、第二进出口区、第二围坝分别与所述第一换热区、第一围坝、第一进出口区沿微能源芯片的厚度方向对齐。

全文数据:

权利要求:

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