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申请/专利权人：苏州苏纳光电有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆中转装置。晶圆中转装置包括：定边单元，包括支撑机构、第一驱动机构和检测机构，支撑机构用于承载晶圆，第一驱动机构与支撑机构传动连接，并至少用于驱使支撑机构绕自身中轴线转动，检测机构至少用于检测、定位晶圆的定位直边；对中单元，包括导轨、第二驱动机构和至少两个对中机构，至少两个对中机构间隔设置在支撑机构的外周区域，至少两个对中机构活动设置在导轨上，第二驱动机构与对中机构传动连接，并至少用于驱使对中机构沿导轨活动。本实用新型提供的一种晶圆中转装置可快速实现对晶圆的对中及定边操作，对中及定边可在数秒内完成，从而减少了操作时间、提高了作业效率。
主权项：1.一种晶圆中转装置，其特征在于，包括：定边单元，包括支撑机构、第一驱动机构和检测机构，所述支撑机构用于承载晶圆，并且，所述第一驱动机构与所述支撑机构传动连接，并至少用于驱使所述支撑机构绕自身中轴线转动，所述检测机构至少用于检测、定位所述晶圆的定位直边；对中单元，包括导轨、第二驱动机构和至少两个对中机构，至少两个所述对中机构间隔设置在所述支撑机构的外周区域，至少两个所述对中机构活动设置在所述导轨上，所述第二驱动机构与所述对中机构传动连接，并至少用于驱使所述对中机构沿所述导轨活动，至少两个所述对中机构位于第一圆周上，所述第一圆周与所述支撑机构同心设置。
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权利要求：
百度查询： 苏州苏纳光电有限公司 晶圆中转装置
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