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申请/专利权人：青岛高测科技股份有限公司

摘要：本发明涉及一种用于方棒中转的机械手装置，属于半导体晶硅加工设备领域，包括中转框架，所述中转框架上滑动连接有抓手支架组件，所述抓手支架组件的下方滑动连接有抓手基板组件，所述抓手基板组件的下部设有至少一组方棒夹持单元，所述方棒夹持单元与所述抓手基板组件滑动连接，在夹持方棒的同时实现在X轴、Y轴和Z轴三个垂直正交方向上的位置调节，能够抓取不同长度和宽度的方棒，具有重复定位精度高、适用范围广泛的特点。

主权项：1.一种用于方棒中转的机械手装置，其特征在于，包括中转框架（1），所述中转框架（1）上滑动连接有抓手支架组件（2），所述抓手支架组件（2）的下方滑动连接有抓手基板组件（3），所述抓手基板组件（3）的下部设有至少一组方棒夹持单元（4），所述方棒夹持单元（4）与所述抓手基板组件（3）滑动连接，在夹持方棒的同时实现在X轴、Y轴和Z轴三个垂直正交方向上的位置调节；所述抓手支架组件（2）包括第一丝杠（201）、抓手固定板（202）和中转电机（204），所述第一丝杠（201）沿着Y轴设置，所述抓手固定板（202）与第一丝杠（201）固连，其下方固设有两块基板固定块（203），所述基板固定块（203）位于与Y轴相垂直的X、Z平面内，中转电机（204）的输出端与第一丝杠（201）相连，驱动抓手固定板（202）沿Y轴方向移动；所述基板固定块（203）上设置有第二滑轨（2031），且所述第二滑轨（2031）在X、Z平面内倾斜设置，抓手基板组件（3）通过第二滑轨（2031）与基板固定块（203）滑动连接；所述抓手基板组件（3）包括抓手基板（301）、基板连接块（302）和基板驱动组件（304），所述基板连接块（302）固设于所述抓手基板（301）的上部，且其与所述第二滑轨（2031）滑动配合，基板驱动组件（304）驱动所述抓手基板（301）沿着第二滑轨（2031）滑动，所述抓手基板（301）的下底面设置有第三滑轨（303），且所述第三滑轨（303）沿Y轴设置；所述方棒夹持单元（4）包括推板组件（401）、方棒固定组件（402）和缓冲组件（403），所述推板组件（401）的上部与第三滑轨（303）滑动配合，其下部设置有方棒固定组件（402），所述缓冲组件设置在推板组件（401）上且其与所述方棒固定组件（402）固连；所述推板组件（401）包括两个相对设置的推板（4011），所述推板（4011）的上部与第三滑轨（303）滑动连接，且两个推板（4011）的内侧均设置有第四滑轨（4013），所述第四滑轨（4013）沿X轴设置，两个推板（4011）之间固设推板丝杠（4012），推板丝杠（4012）推动推板（4011）沿第三滑轨（303）滑动；所述方棒固定组件（402）包括抓板固定块（4021）和与抓板固定块（4021）固连的抓板（4022），所述抓板固定块（4021）与所述第四滑轨（4013）滑动配合，位于两个推板（4011）上的抓板（4022）相对设置，且抓板（4022）上开设有容纳方棒的凹槽（4023）。

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百度查询： 青岛高测科技股份有限公司 一种用于方棒中转的机械手装置