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申请/专利权人：无锡松瓷机电有限公司
摘要：本申请公开一种晶棒视觉检测装置及晶棒划线机，其中，晶棒视觉检测装置包括移载组件和相机组件，移载组件的驱动端与相机组件连接；相机组件包括相机、遮光板和补光件，遮光板的长度小于晶棒的长度，遮光板形成有圆弧面，遮光板上开设有避让孔，相机的镜头通过避让孔朝向圆弧面的内侧拍摄；补光件安装在圆弧面的内侧，补光件被配置为在相机拍摄时对待检测的晶棒表面实施补光；移载组件驱动相机、遮光板和补光件同步沿晶棒长度方向移动，以通过相机、遮光板和补光件的配合对晶棒的表面实施拍摄检测。通过移载组件和相机组件的配合，实现了对晶棒表面的自动拍摄，以进行外观检测，整个检测装置体积小，成本低。
主权项：1.一种晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述晶棒视觉检测装置包括移载组件和相机组件，其中：所述移载组件的驱动端与所述相机组件连接；所述相机组件包括相机、遮光板和补光件，所述遮光板的长度小于所述晶棒的长度，所述遮光板形成有圆弧面，所述遮光板上开设有避让孔，所述相机的镜头通过所述避让孔朝向所述圆弧面的内侧拍摄；所述补光件安装在所述圆弧面的内侧，所述补光件被配置为在所述相机拍摄时对待检测的晶棒表面实施补光；所述移载组件驱动所述相机、所述遮光板和所述补光件同步沿所述晶棒长度方向移动，以通过所述相机、所述遮光板和所述补光件的配合对所述晶棒的表面实施拍摄检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡松瓷机电有限公司 一种晶棒视觉检测装置及晶棒划线机
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