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多晶硅硅棒自动拆炉的取棒夹具及机器人 

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申请/专利权人:云南柔控科技有限公司

摘要:本发明涉及还原炉辅助设备技术领域,具体公开了一种多晶硅硅棒自动拆炉的取棒夹具及机器人,其中的取棒夹具包括夹具固定架,安装于夹具固定架上部的顶部压持气缸组件,至少两套安装于夹具固定架上的、且位于顶部压持气缸组件下方的左侧夹持机构,以及至少两套安装于夹具固定架上的、与左侧夹持机构间隔布置的右侧夹持机构;所述左侧夹持机构及右侧夹持机构分别用于夹持硅棒的两侧立柱;所述右侧夹持机构与左侧夹持机构的结构相同,且夹持动作相对称。本发明采用前后夹取方式,取棒夹具的夹持部位外形宽度小于硅棒外宽,解决了自动夹取中间硅棒无法夹持的难题。

主权项:1.一种多晶硅硅棒自动拆炉的取棒夹具,其特征在于,包括夹具固定架(301),安装于夹具固定架(301)上部的顶部压持气缸组件(302),至少两套安装于夹具固定架(301)上的、且位于顶部压持气缸组件(302)下方的左侧夹持机构(303),以及至少两套安装于夹具固定架(301)上的、与左侧夹持机构(303)间隔布置的右侧夹持机构(304);所述左侧夹持机构(303)及右侧夹持机构(304)分别用于夹持硅棒的两侧立柱(201);所述左侧夹持机构(303)包括与夹具固定架(301)固连的夹具座(310),固连于夹具座(310)上的滑轨(311),滑动安装于滑轨(311)上的滑块一(312)和滑块二(313),固连于滑块一(312)上的夹板座(314),固连于夹板座(314)上的外夹板(315),固连于滑块二(313)上的、且位于外夹板(315)内侧的固定座(316),滑动安装于固定座(316)上的滑动座(317),铰接于滑动座(317)端部处的、与外夹板(315)配合的内夹板(318),两端分别与内夹板(318)及固定座(316)铰接的拉杆(319),固连于固定座(316)上的、用于驱动滑动座(317)移动的第一驱动缸(320),固连于夹板座(314)上的、用于驱动固定座(316)的第二驱动缸(321),以及固连于夹板座(314)上、用于与滑轨(311)进行锁止的气动锁紧装置(322);所述右侧夹持机构(304)与左侧夹持机构(303)的结构相同,且夹持动作相对称。

全文数据:

权利要求:

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