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申请/专利权人：沈阳广泰真空科技股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种真空炉用温控加热器及真空炉，属于加热器技术领域，用于解决真空炉内温度均匀性较差的问题。本实用新型的真空炉用温控加热器包括第一加热模块、多个第二加热模块、温度监测模块和控制模块。第一加热模块设置在真空炉内。多个第二加热模块沿第一加热模块的延伸方向依次间隔设置。第一加热模块及多个第二加热模块围成有效工作区域。温度监测模块能够分别获取第一加热模块所在区域以及每个第二加热模块所在区域的温度。控制模块能够根据温度监测模块获取的温度分别控制第一加热模块以及多个第二加热模块的输出功率。本方案利用较少的加热分区提高了真空炉内有效工作区域的温度均匀性。
主权项：1.一种真空炉用温控加热器，其特征在于，包括：第一加热模块，设置在真空炉内；多个第二加热模块，沿所述第一加热模块的延伸方向依次间隔设置在所述真空炉中；每个所述第二加热模块包括开口端和封闭端；所述开口端朝向所述第一加热模块；所述第一加热模块及多个所述第二加热模块围成有效工作区域；温度监测模块，设置在真空炉内；所述温度监测模块用于获取所述第一加热模块所在区域以及每个所述第二加热模块所在区域的温度；控制模块，分别连接所述温度监测模块、所述第一加热模块以及多个所述第二加热模块；所述控制模块能够根据所述温度监测模块获取的温度分别控制所述第一加热模块以及多个所述第二加热模块的输出功率。
全文数据：
权利要求：
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