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申请/专利权人：埃地沃兹日本有限公司
摘要：提供能够减小转子的振动的真空泵及垫圈、以及能够减小振动的转子。当作为绕z轴的惯性力矩与绕x轴或y轴的惯性力矩的比的惯性力矩比大于1时，固有振动频率ω2不会与旋转频率Ωz一致而是远离。如果固有振动频率ω2与旋转频率Ωz一致，则转子振动，进而发生旋转叶片的疲劳破坏。在将转子在旋转轴的半径方向上增大的情况下，将惯性力矩比的值设为大于1的值。
主权项：1.一种真空泵，具备：壳体，具有吸气口和排气口；转子，具有旋转轴；磁轴承，将前述旋转轴能够旋转地支承；以及马达，将前述旋转轴旋转驱动；通过前述转子旋转，将从前述吸气口吸入的气体向前述排气口移送；其特征在于，由下述式1表示的γ的值大于1，γ＝JzJ…1其中，在上述式1中，Jz是前述转子的绕前述旋转轴的轴心的惯性力矩，J是前述转子的绕与前述旋转轴的轴心正交的轴的惯性力矩；随着前述旋转轴的旋转频率增加，前述转子的固有振动频率的至少一个不与前述旋转轴的前述旋转频率一致地增加。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 埃地沃兹日本有限公司 真空泵及转子
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