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申请/专利权人：苏州纳道精运半导体科技有限公司

摘要：本申请公开一种真空机械臂，该真空机械臂包括：手臂组件；壳体；用于驱动所述手臂组件动作的驱动组件；其中，所述驱动组件可被操纵沿轴向升降地设置于所述壳体内；所述驱动组件包括固定升降机构、旋转机构；所述固定升降机构包括定子基座、固定设置于所述定子基座上的定子机构、密封隔离筒、伸缩隔离套；所述伸缩隔离套的上端连接所述壳体，下端连接所述定子基座；所述密封隔离筒包括圆柱形筒体以及设置于所述圆柱形筒体下端连接所述定子基座的连接端；所述两个或者更多个定子机构同轴叠放设置在所述圆柱形筒体内。所述固定升降机构还设有主动散热机构；所述主动散热机构包括：泵体以及循环流道；所述泵体驱动所述循环流道内的水冷液循环流动。

主权项：1.一种真空机械臂，其特征在于，包括：手臂组件；壳体；用于驱动所述手臂组件动作的驱动组件；其中，所述驱动组件可被操纵沿轴向升降地设置于所述壳体内；所述驱动组件包括固定升降机构、两个或者更多个旋转机构；所述固定升降机构包括定子基座、固定设置于所述定子基座上的两个或者更多个同轴叠放设置的定子机构、将所述定子机构和所述旋转机构相隔离的密封隔离筒、伸缩隔离套；所述伸缩隔离套的上端连接所述壳体，下端连接所述定子基座；所述密封隔离筒包括圆柱形筒体以及设置于所述圆柱形筒体下端连接所述定子基座的连接端；所述两个或者更多个定子机构同轴叠放设置在所述圆柱形筒体内；所述两个或者更多个旋转机构可各自独立旋转地同轴叠放设置于所述伸缩隔离套和所述圆柱形筒体之间；其中，所述旋转机构和所述定子机构一一对应环套匹配；所述旋转机构设有位置传感器；所述定子机构设有与所述位置传感器相对应的配合部；所述固定升降机构还设有主动散热机构；所述主动散热机构包括：泵体以及循环流道；所述泵体驱动所述循环流道内的水冷液循环流动；所述循环流道具有相连通的集热流道和散热流道；所述集热流道设置于所述两个或者更多个定子机构内；所述散热流道设置于所述定子基座上；所述定子基座设有被动散热结构；所述定子基座的下端端面设有散热嵌槽；所述主动散热机构包括连通所述泵体的散热管；所述散热管嵌入所述散热嵌槽，并盘绕所述旋转机构的旋转轴线多圈布置；所述被动散热结构包括设置于所述定子基座侧壁的散热鳍片；所述两个或者更多个旋转机构包括第一旋转机构、位于所述第一旋转机构下方的第二旋转机构、位于所述第二旋转机构下方的第三旋转机构；所述第一旋转机构的上端设有第一位置传感器；所述第二旋转机构的下端设有第二位置传感器；所述第三旋转机构的下端设有第三位置传感器；所述第二旋转机构的上端还设有第一旋转套；所述第一旋转套具有容纳所述第一旋转机构的第一容纳腔；第三旋转机构的上端还设有第二旋转套；所述第二旋转套具有容纳所述第一旋转机构的第二容纳腔以及容纳所述第二旋转机构的第三容纳腔；所述第二容纳腔和所述第三容纳腔呈阶梯构造；所述第一旋转机构和所述第一容纳腔的内壁之间设有第一支撑轴承；所述第二旋转机构和所述第三容纳腔的内壁之间设有第二支撑轴承；所述两个或者更多个定子机构包括第一定子机构、位于所述第一定子机构下方的第二定子机构、位于所述第二定子机构下方的第三定子机构；所述第一旋转机构套设于所述第一定子机构外；所述第二旋转机构套设于所述第二定子机构外；所述第三旋转机构套设于所述第三定子机构外；所述集热流道包括：沿轴向将所述两个或者更多个定子机构贯穿的贯穿流道的上行流道和沿轴向将所述两个或者更多个定子机构贯穿的下行流道；其中，所述散热管的输入端连接所述下行流道的输出端；所述上行流道的输入端连接所述泵体的输出端；所述泵体的输入端连接所述散热管的输出端；所述第一定子机构的上方设有配接板；所述配接板设有垂直于所述轴向并将所述上行流道和所述下行流道连通的横向流道。

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百度查询： 苏州纳道精运半导体科技有限公司 真空机械臂