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申请/专利权人：国科大杭州高等研究院
摘要：本公开涉及真空计量技术领域，公开一种真空密度计和基于真空密度计进行真空度检测的方法，真空密度计包括屏蔽室和放电室。其中，屏蔽室包括屏蔽罩；放电室位于屏蔽罩内，包括磁路和阳极，磁路包括导磁底板、放电室外壳、磁极和磁芯，导磁底板和放电室外壳围成具有放电出口的放电区域，磁极、磁芯和至少部分阳极位于放电区域中且与放电出口相对设置，磁极产生的磁场依次经过导磁底板、放电室外壳和磁芯后返回磁极，阳极用于连接第一电源的正极，屏蔽罩和放电室外壳用于连接第二电源的负极。可以提高检测精度。
主权项：1.一种真空密度计，其特征在于，所述真空密度计包括：屏蔽室（100），包括屏蔽罩（11）；放电室（101），位于所述屏蔽罩（11）内，包括磁路（102）和阳极（5），所述磁路（102）包括导磁底板（3）、放电室外壳（4）、磁极（6）和磁芯（7），所述导磁底板（3）和所述放电室外壳（4）围成具有放电出口（1011）的放电区域（1012），所述磁极（6）、所述磁芯（7）和至少部分所述阳极（5）位于所述放电区域（1012）中且与所述放电出口（1011）相对设置，所述磁极（6）产生的磁场依次经过所述导磁底板（3）、所述放电室外壳（4）和所述磁芯（7）后返回所述磁极（6），所述阳极（5）用于连接第一电源的正极，所述屏蔽罩（11）和所述放电室外壳（4）用于连接第二电源的负极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国科大杭州高等研究院 真空密度计和基于真空密度计进行真空度检测的方法
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