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申请/专利权人：株式会社基恩士
摘要：提供一种光学式位移计，在通过使投光受光系统摆动来测定位移的情况下，能够输出高度图像、受光图像。光学式位移计1具备：投光受光模块10；马达20，其使投光受光模块10摆动；马达控制部30，其对马达20进行控制，来使投光受光模块10摆动，从而使狭缝光进行扫描；旋转角度获取部36，其获取通过马达20实现的旋转角度；信号处理部32，其基于由图像传感器13a输出的受光量分布来计算UV坐标，并基于规定的变换条件来将UV坐标和旋转角度变换为XYZ坐标；以及高度图像输出部37，其基于XYZ坐标来输出表示XY平面上的工件的高度的高度图像。
主权项：1.一种光学式位移计，具备：投光受光模块，其具有投光部、图像传感器以及支承构件，所述投光部照射沿X方向延展的狭缝光，所述图像传感器利用在与所述X方向对应的U方向、以及与该U方向正交的V方向上二维排列的多个像素，来接收被工件反射而得到的反射光，并输出表示受光量分布的受光图像，所述支承构件将所述投光部和所述图像传感器一体地保持；马达，其使所述投光受光模块以所述支承构件的旋转轴为中心以在顺时针方向或逆时针方向这两个方向上进行往复的方式一体地摆动；马达控制部，其对所述马达进行控制，来使所述投光受光模块摆动，从而使所述狭缝光在与所述X方向正交的方向上进行扫描；旋转角度获取部，其获取通过所述马达实现的旋转角度；信号处理部，其基于由所述图像传感器输出的所述受光量分布来计算UV坐标，并基于规定的变换条件来将该UV坐标和所述旋转角度变换为XYZ坐标；以及高度图像输出部，其基于所述XYZ坐标来输出表示XY平面上的所述工件的高度的高度图像，其中，所述图像传感器在由所述马达控制部使所述投光受光模块向所述两个方向中的一个方向摆动的期间获取多个受光图像，所述信号处理部基于所述规定的变换条件来将与在所述投光受光模块向所述一个方向摆动的期间得到的所述多个受光图像中的各受光图像对应的UV坐标和旋转角度变换为多个XYZ坐标，所述高度图像输出部基于所述多个XYZ坐标来输出所述高度图像。
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