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申请/专利权人：株式会社基恩士
摘要：本发明提供一种光学式位移测量系统，能够使用于用户选择适当的测定条件的设定变得高效。控制部一边利用移动机构使投光受光模块与工件在至少包含共用范围的各测定范围内相对移动，一边将投光受光模块控制为基于多个曝光时间中的各曝光时间依次获取工件的多个受光图像，针对多个曝光时间中的各曝光时间，基于多个受光图像来获取表示工件的形状的XYZ坐标信息，并基于XYZ坐标信息来生成工件图像，生成用于显示与多个曝光时间分别对应的多个工件图像的设定画面。设定装置构成为能够在借助设定画面受理到对多个曝光时间中的一个曝光时间的选择之后，受理对基于所选择出的曝光时间获取到的多个受光图像执行的图像处理参数的调整。
主权项：1.一种光学式位移测量系统，具备：投光受光模块，其具有投光部和图像传感器，所述投光部向工件照射沿X方向延展的狭缝光，所述图像传感器具有在与所述X方向对应的U方向以及与所述U方向正交的V方向上二维排列的多个像素，所述图像传感器利用所述多个像素接收被所述工件反射所得到的反射光，输出表示受光量分布的受光图像；移动机构，其使所述投光受光模块与所述工件相对移动；设定装置，其用于设定所述投光受光模块和所述移动机构的控制条件；以及控制部，其基于所述控制条件，来控制所述投光受光模块和所述移动机构，其中，所述控制条件包括所述图像传感器的互不相同的多个曝光时间，所述控制部一边利用所述移动机构使所述投光受光模块与所述工件在至少包含共用范围的各测定范围内相对移动，一边将所述投光受光模块控制为基于所述多个曝光时间中的各曝光时间依次获取所述工件的多个所述受光图像，所述控制部针对所述多个曝光时间中的各曝光时间，基于多个所述受光图像来获取表示所述工件的形状的XYZ坐标信息，并基于所述XYZ坐标信息来生成表示所述工件的形状的工件图像，所述控制部生成用于显示与所述多个曝光时间分别对应的多个所述工件图像的设定画面，所述设定装置构成为能够在借助所述设定画面受理到对所述多个曝光时间中的一个曝光时间的选择之后，受理对基于所选择出的所述曝光时间获取到的多个所述受光图像执行的图像处理参数的调整。
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