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申请/专利权人:埃地沃兹日本有限公司
摘要:本发明提供能够不进行翻修地除去副反应产物的真空泵。本发明的真空泵具备用于使转子28旋转的马达16、温度能够上升的加热器48、保持加热器48的基座间隔件42、能够在通常动作模式和清洁动作模式之间进行动作模式的切换来控制加热器48的控制器、储存与加热器48有关的设定温度的信息的储存部,在储存部至少储存第1温度信息和第2温度信息,前述第1温度信息用于通常动作模式,具体地为泵能够无不良情况地使用的设定温度信息,前述第2温度信息用于清洁动作模式,具体地为能够将通常动作模式中产生的副反应产物再次气化的设定温度信息,由第2温度信息表示的温度比由第1温度信息表示的温度高。
主权项:1.一种真空泵,其特征在于,具备泵机构、壳、旋转驱动机构、温度上升机构、升温保持机构、控制机构、温度信息储存机构,前述泵机构具有转子,前述壳内置前述泵机构,前述旋转驱动机构用于使前述转子旋转,前述温度上升机构能够使温度上升,前述升温保持机构保持前述温度上升机构,前述控制机构能够在通常动作模式和清洁动作模式之间进行动作模式的切换来控制前述温度上升机构,前述温度信息储存机构储存与前述温度上升机构有关的设定温度的信息,在前述温度信息储存机构,至少储存用于前述通常动作模式的第1温度信息和用于前述清洁动作模式的第2温度信息,由前述第2温度信息表示的第2温度比由前述第1温度信息表示的第1温度高,前述第2温度是使在前述第1温度析出的副反应生成物气化的温度,前述控制机构能够在前述通常动作模式和前述清洁动作模式之间进行动作模式的切换来控制前述旋转驱动机构,具备储存与前述旋转驱动机构有关的设定转速的信息的转速信息储存机构,在前述转速信息储存机构,至少储存用于前述通常动作模式的第1转速信息和用于前述清洁动作模式的第2转速信息,由前述第2转速信息表示的转速比由前述第1转速信息表示的转速低。
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