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申请/专利权人：中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
摘要：本发明提供了一种传动装置、真空机械手及真空机械手的传动方法，真空机械手包括第一摆臂、第二摆臂以及晶圆拿取手，传动装置包括：第一传动机构设于第一摆臂内且沿第一摆臂的长度方向设置，第一传动机构的其中一个端部延伸出第一摆臂并与第二摆臂的其中一个端部连接；第二传动机构设于第一摆臂内；第三传动机构设于第二摆臂内且沿第二摆臂的长度方向设置，第三传动机构的其中一个端部与第二传动机构连接，第三传动机构的另一个端部延伸出第二摆臂的另一个端部并与晶圆拿取手连接。第一摆臂、第二摆臂、晶圆拿取手可实现无限回转，因没有转动限制，无需顺时针旋转一定角度后再逆时针回转至初始位置，加快了生产节拍，实现了晶圆拿取手的无限回转。
主权项：1.一种传动装置，应用于真空机械手，所述真空机械手包括第一摆臂、第二摆臂以及晶圆拿取手，其特征在于，所述传动装置包括：第一传动机构，设于所述第一摆臂内，沿所述第一摆臂的长度方向设置，所述第一传动机构的其中一个端部延伸出所述第一摆臂并与所述第二摆臂的其中一个端部连接；第二传动机构，设于所述第一摆臂内；第三传动机构，设于所述第二摆臂内，沿所述第二摆臂的长度方向设置，所述第三传动机构的其中一个端部与所述第二传动机构连接，所述第三传动机构的另一个端部延伸出所述第二摆臂的另一个端部并与所述晶圆拿取手连接。
全文数据：
权利要求：
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