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一种多晶硅还原炉的底盘出气结构 

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申请/专利权人:新疆大全新能源股份有限公司

摘要:本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种多晶硅还原炉的底盘出气结构。主要技术方案为:一种多晶硅还原炉的底盘出气结构,包括:底盘、出气管、汇集结构和尾气总管;底盘上具有多个出气孔;多个出气孔以圆形阵列分布;出气管的输入端与出气孔连通;出气管为多个;多个出气管与多个出气孔一一对应设置;出气管的结构相同;汇集结构与多个出气管的下端分别连接;汇集结构位于出气孔的下方;汇集结构与多个出气孔的距离相同;尾气总管的一端与汇集结构连接;尾气总管通过汇集结构与多个出气管分别连通。采用本实用新型能够使多个出气孔的排气量相同,进而使还原炉内气场均匀,提高还原炉内反应的稳定性,提高硅棒品质和单炉产量。

主权项:1.一种多晶硅还原炉的底盘出气结构,其特征在于,包括:底盘、出气管、汇集结构和尾气总管;所述底盘上具有多个出气孔;多个所述出气孔以圆形阵列分布;所述出气管的输入端与所述出气孔连通;所述出气管为多个;多个所述出气管与多个所述出气孔一一对应设置;所述出气管的结构相同;所述汇集结构与多个所述出气管的下端分别连接;所述汇集结构位于所述出气孔的下方;所述汇集结构与多个所述出气孔的距离相同;所述尾气总管的一端与所述汇集结构连接;所述尾气总管通过所述汇集结构与多个所述出气管分别连通。

全文数据:

权利要求:

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