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申请/专利权人：青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司;青海芯测科技有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司
摘要：本发明提供一种多晶硅生产用还原炉内壁涂层的制备方法，属于多晶硅生产设备领域。制备方法包括将金属箔覆于还原炉内壁；采用喷丸工艺夯实镶嵌金属箔制备过渡层；采用冷喷涂工艺在所述金属箔表面制备银涂层；采用机械抛光法对银涂层进行抛光处理。本发明在还原炉内壁覆加金属箔并采用喷丸工艺制备过渡层，之后在金属箔表面喷涂银涂层，工序简单高效，金属箔经喷丸后，嵌入基体内，与不锈钢基体和银涂层的结合强度均较高、抗热震性能好，从而有效提高设备的使用寿命；本发明能有效防止还原炉不锈钢基体的杂质元素扩散至银涂层表面进入炉腔，进而能有效确保还原炉中多晶硅的高纯度特性。
主权项：1.一种多晶硅生产用还原炉内壁涂层的制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：S1、将金属箔覆于还原炉内壁；S2、采用喷丸工艺夯实镶嵌金属箔制备过渡层；S3、采用冷喷涂工艺在所述金属箔表面制备银涂层；S4、采用机械抛光法对银涂层进行抛光处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 青海芯测科技有限公司 青海黄河上游水电开发有限责任公司 国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司 一种多晶硅生产用还原炉内壁涂层的制备方法
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