龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
摘要：本发明公开了一种远程等离子体清洗设备及清洗方法，清洗设备包括清洗腔室、腔门、第一远程等离子体源、第二远程等离子体源和真空单元，第一远程等离子体源和第二远程等离子体源分别与清洗腔室的第一端和第二端连接，清洗腔室的第一端和第二端分别设有第一抽真空口和第二抽真空口，第一抽真空口和第二抽真空口与真空单元连接。该设备利用两个远程等离子体源与两个抽真空口配合，实现正向、方向交替进气和抽气的多次循环清洗，清洗速度快、均匀性好、效率高，且气耗量低，成本低。本发明采用炉口进气炉尾抽气和炉尾进气炉口抽气的循环清洗方法，可有效提高较长载具的清洗均匀性和清洗速率，提高载具流转速度，减少过度刻蚀，降低含氟气体用量。
主权项：1.一种远程等离子体清洗设备，其特征在于，包括清洗腔室1、腔门、第一远程等离子体源3、第二远程等离子体源4和真空单元，所述第一远程等离子体源3和第二远程等离子体源4分别与清洗腔室1的第一端和第二端连接，所述清洗腔室1的第一端和第二端分别设有第一抽真空口51和第二抽真空口52，所述第一抽真空口51和第二抽真空口52与真空单元连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南红太阳光电科技有限公司 远程等离子体清洗设备及清洗方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号