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申请/专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
摘要：本申请提供一种射频等离子体匹配网络电路，包括：第一真空继电器以及高低功率等离子体负载匹配网络，利用第一真空继电器实现高功率等离子体负载匹配网络和低功率等离子体负载匹配网络之间的切换，低功率等离子体负载匹配网络包括电容模块和电阻模块，也就是说，低功率等离子体负载匹配网络中的电容模块和电阻模块实现对射频电源的功率衰减，实现低功率等离子体的稳定工艺，具体可以通过调整电容模块的电容和电阻模块的电阻实现对于低功率等离子体工艺的精确调整，由此可见，本申请实施例提供的射频等离子体匹配网络电路，能够满足对于高低能量等离子体组合工艺的需求，拓展了半导体设备的工艺窗口，能够更好地进行半导体器件及芯片的制造。
主权项：1.一种射频等离子体匹配网络电路，其特征在于，所述电路包括：第一真空继电器、高功率等离子体负载匹配网络和低功率等离子体负载匹配网络；所述高功率等离子体负载匹配网络包括第一固定真空电容器，所述低功率等离子体负载匹配网络包括电容模块和电阻模块；所述第一真空继电器的输入端和射频电源连接，所述第一真空继电器的输出端和高功率等离子体负载匹配网络的输入端或低功率等离子体负载匹配网络的输入端连接，所述第一真空继电器的输入端和所述电容模块连接；所述高功率等离子体负载匹配网络的输出端或低功率等离子体负载匹配网络的输出端连接射频等离子体负载，所述电阻模块和所述射频等离子体负载连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鲁汶仪器股份有限公司 一种射频等离子体匹配网络电路
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