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申请/专利权人：上海交通大学
摘要：本发明公开了一种基于相变材料PCM的硅基III‑V族混合集成激光器，包括外腔激光器和自注入锁定激光器。本发明将PCM用于硅基III‑V族混合集成激光器的移相器与微环滤波器中，利用PCM的非易失性实现无需持续功耗、低噪声的相位调节。PCM能在晶态和非晶态间实现可重复相变，通过制作分段式N比特相变移相器，可以实现对相位的数字式调节。本发明为芯片级激光器，具有高集成度、高可靠性和利于大规模生产的优势，PCM的引入降低了硅基III‑V族混合集成激光器调谐功耗，并让整个调谐范围内的激光频率噪声保持很低的水平，实现较低的积分线宽，可以应用于对激光相位噪声要求较高的场景。
主权项：1.一种基于PCM的硅基III-V族混合集成外腔激光器，包括半导体光放大器和硅基芯片。该半导体光放大器产生的光通过模斑耦合器耦合进入硅基外腔芯片；硅基外腔芯片特征在于，纵模移相器的输入端耦合到所述模斑耦合器的输出端，该纵模移相器的输出端与第一多模干涉仪的输入端相连，该第一多模干涉仪的两个输出通道分别与第一微环滤波器和第二微环滤波器相连。所述第一微环滤波器和第二微环滤波器为半径不相等的环型结构，用于激光纵模的选择并利用游标效应提高自由光谱范围；所述纵模移相器、第一微环滤波器和第二微环滤波器集成有PCM和PIN结。所述第一微环滤波器和第二微环滤波器输出端的光分别沿第二微环滤波器输出端和第一微环滤波器输出端方向返回，使部分功率沿对向传输并反馈至半导体光放大器，另一部分功率从定向耦合器的另两个端口输出至第二多模干涉仪；所述第二多模干涉仪将两路输出光合成一路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海交通大学 基于PCM的硅基III-V族混合集成激光器
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