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具有13族元素氮化物单晶基板的层叠体 

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申请/专利权人:日本碍子株式会社

摘要:针对具有13族元素氮化物单晶上的缓冲层、缓冲层上的厚度700nm以下的沟道层、以及沟道层上的势垒层的层叠体,抑制载流子面密度、载流子迁移率的降低。本层叠体1具备:13族元素氮化物单晶基板2,其由13族元素氮化物单晶构成,且具有第一主面2a及第二主面2b;缓冲层3,其设置在13族元素氮化物单晶基板2的第一主面2a上;沟道层4,其设置在缓冲层3上;以及势垒层5,其设置在沟道层4上。沟道层4的厚度为700nm以下,13族元素氮化物单晶基板2的第一主面2a的偏角为0.4°以上1.0°以下。

主权项:1.一种层叠体,其具备:13族元素氮化物单晶基板,该13族元素氮化物单晶基板由13族元素氮化物单晶构成,且具有第一主面及第二主面;缓冲层,该缓冲层设置在所述13族元素氮化物单晶基板的所述第一主面上;沟道层,该沟道层设置在所述缓冲层上;以及势垒层,该势垒层设置在所述沟道层上,所述层叠体的特征在于,所述沟道层的厚度为700nm以下,所述13族元素氮化物单晶基板的所述第一主面的偏角为0.4°以上1.0°以下。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 日本碍子株式会社 具有13族元素氮化物单晶基板的层叠体

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