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申请/专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：一种半导体生长炉晶棒取出设备及方法，包括两个夹持机构、两个夹持机构之间的连接柱、动力机构；夹持机构包括固定环、旋转环、夹紧部、传动部；固定环可允许晶棒穿过，旋转环套转动装于固定环外部，旋转环的内壁与固定环的外壁之间形成夹腔，夹紧部设于固定环内圆面处，传动部设于夹腔内，传动部的一端铰接于旋转环且另一端穿过固定盘并相接于夹紧部；动力机构的输出端分别对应的与两个夹持机构上的旋转环相连接，使动力机构能够带动两个夹持机构上的旋转环同步转动，实现两个夹持机构同时对晶棒的夹紧或释放。在取晶棒时，采用垂直提取方式，受晶棒重力作用，纵向提升力与晶棒轴线处于一条直线，晶棒重心更加稳定，可防止晶棒与单晶炉发生磕碰。
主权项：1.一种单晶炉晶棒取出设备，其特征在于：包括夹持机构、动力机构；所述夹持机构有两个，两个夹持机构纵向等间距布设，两个夹持机构之间通过连接柱固定；所述夹持机构包括固定环、旋转环、夹紧部、传动部；所述固定环能够允许晶棒穿过，所述旋转环套装于固定环外部，旋转环的内壁与固定环的外壁之间形成夹腔，旋转环能够沿固定环的轴线周向转动，所述夹紧部设置于固定环内圆面处，所述传动部设置于夹腔内，传动部的一端铰接于旋转环，传动部的另一端穿过固定盘且相接于夹紧部，在旋转环周向转动时，旋转环可带动传动部沿固定环的径向方向往复移动，实现对晶棒的夹紧或释放；所述动力机构的输出端分别对应的与两个夹持机构上的旋转环相连接，使动力机构能够带动两个夹持机构上的旋转环同步转动，实现两个夹持机构同时对晶棒的夹紧或释放。
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百度查询： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 单晶炉晶棒取出设备及方法
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