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申请/专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
摘要：本发明提供了一种晶圆对中装置及晶圆对中方法，其中，晶圆对中装置包括：控制台；轨道组件，轨道组件设于控制台内；夹持组件，夹持组件与轨道组件连接；传感器组件，传感器组件由发射部件与接收部件组成，发射部件与接收部件设置于夹持组件的两侧；其中，发射部件发出光束，接收部件接收光束，当光束受阻，传感器组件获得信号，得到晶圆边缘的偏移量，轨道组件根据偏移量调整夹持组件。本发明解决了如何解决晶圆在加工过程中，精确度不足的问题。
主权项：1.一种晶圆对中装置，其特征在于，包括：控制台；轨道组件，所述轨道组件设于所述控制台内；夹持组件，所述夹持组件与所述轨道组件连接；传感器组件，所述传感器组件由发射部件与接收部件组成，所述发射部件与所述接收部件设置于所述夹持组件的两侧；其中，所述发射部件发出光束，所述接收部件接收光束，当光束受阻，所述传感器组件获得信号，得到晶圆边缘的偏移量，所述轨道组件根据所述偏移量调整所述夹持组件。
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百度查询： 宁波润华全芯微电子设备有限公司 一种晶圆对中装置及晶圆对中方法
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