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申请/专利权人：弥费科技(上海)股份有限公司
摘要：本申请涉及一种晶圆盒缓存装置，包括存放架、水平移载机构和竖直移载机构，存放架内设有沿X向的多列库位，每列库位沿Z向设有至少一层库位，水平移载机构设有水平定位检测件，用于定位竖直移载机构在X向上的位置，竖直移载机构的竖直模组沿Z向对应各层的库位分别设有竖直定位检测组件，竖直定位检测组件包括沿Z向间隔设置的第一竖直定位检测件、第二竖直定位检测件，第一竖直定位检测件配置为：当所述机械手在Z向上运动至第一位置时被触发，第二竖直定位检测件配置为：当机械手在Z向上运动至第二位置时被触发；第二位置位于第一位置的上方，能够保证移载机构在拾取到晶圆盒之后再施行搬运动作。
主权项：1.一种晶圆盒缓存装置，其特征在于，所述晶圆盒缓存装置包括存放架、设置在存放架中的水平移载机构和竖直移载机构，其中：所述存放架中设有多个库位，所述多个库位配置为沿X向间隔排列的多列库位，每列库位沿Z向设有至少一层库位，相邻两列所述库位之间形成沿所述Z向延伸的竖向通道，所述Z向沿所述存放架的高度方向延伸；所述水平移载机构位于所述多列库位在Y向上的一侧，所述水平移载机构沿所述X向对应多列的所述库位分别设有水平定位检测件，所述水平定位检测件用于定位所述竖直移载机构在所述X向上的位置，以确定所述竖直移载机构与不同列的所述库位的对应关系，所述X向、Y向及Z向两两垂直；所述竖直移载机构包括竖直模组、连接于所述竖直模组并由所述竖直模组驱动以能够在所述竖向通道中移动的机械手，所述竖直模组设置于所述水平移载机构并且由水平移载机构驱动沿X向移动，所述竖直模组沿所述Z向对应各层的所述库位分别设有竖直定位检测组件，所述竖直定位检测组件包括沿所述Z向间隔设置的第一竖直定位检测件、第二竖直定位检测件，所述第一竖直定位检测件位于所述第二竖直定位检测件的下方；其中，各所述竖直定位检测组件中，所述第一竖直定位检测件配置为：当所述机械手在所述Z向上运动至第一位置时被触发；所述第二竖直定位检测件配置为：当所述机械手在所述Z向上运动至第二位置时被触发；所述第二位置位于所述第一位置的上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 弥费科技(上海)股份有限公司 晶圆盒缓存装置
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