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晶圆夹持治具及晶棒固定治具 

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申请/专利权人:环球晶圆股份有限公司

摘要:本发明提出一种晶圆夹持治具及晶棒固定治具。晶圆夹持治具包括一基座、一卡合件以及一承接座。基座包括一通过孔。且一排气孔位于基座。卡合件可运动地设置于基座的上方。承接座可运动地设置于基座内或是下方且对应于通过孔。

主权项:1.一种晶圆夹持治具,包括:一基座,包括一通过孔;一卡合件,可运动地设置于该基座的上方;以及一承接座,可运动地设置于该基座内或是下方且对应于该通过孔;其中,一第一晶圆适于被夹持于该基座与该卡合件之间,以被切割为一第二晶圆,该第一晶圆具有第一尺寸,该第二晶圆具有第二尺寸,该通过孔的尺寸大于该第二晶圆的该第二尺寸,且一排气孔位于该基座。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 环球晶圆股份有限公司 晶圆夹持治具及晶棒固定治具

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