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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司;台积电(中国)有限公司
摘要：晶圆接受测试系统包括晶圆台、多个探针、控制器、图像检测装置以及定位模块。晶圆台位于晶圆接受测试腔体中。探针位于晶圆接受测试腔体中。控制器致动晶圆台和探针之间的相对运动，相对运动允许探针按压在位于晶圆台上的晶圆上的多个探针垫上，以在探针垫上形成多个探针痕迹。图像检测装置包括影像感测器以及图像处理器。影像感测器位于晶圆接受测试腔体中，且被配置以取得探针痕迹的图像。图像处理器电性连接于影像感测器，且被配置以基于经取的图像产生调整参数。定位模块连接至晶圆台，且被配置以回应于调整参数以调整晶圆台的位置。
主权项：1.一种晶圆接受测试系统，其特征在于，包括：一晶圆台，位于一晶圆接受测试腔体中；多个探针，位于该晶圆接受测试腔体中；一控制器，致动该晶圆台和所述多个探针之间的一相对运动，该相对运动允许所述多个探针按压在位于该晶圆台上的该晶圆上的多个探针垫上，以在所述多个探针垫上形成多个探针痕迹；一图像检测装置，包括：一影像感测器，位于该晶圆接受测试腔体中，其中该影像感测器被配置以取得所述多个探针痕迹的一图像；以及一图像处理器，电性连接于该影像感测器，其中该图像处理器被配置以基于经取的该图像产生一调整参数；以及一定位模块，连接至该晶圆台，其中该定位模块被配置以回应于该调整参数以调整该晶圆台的一位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 台积电(中国)有限公司 晶圆接受测试系统
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