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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日：2020-01-08
公开（公告）日：2021-07-27
公开（公告）号：CN113176482A
专利技术分类：.单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）[2020.01]
专利摘要：本发明提供一种测试电路、测试系统及其测试方法，所述测试电路中的环形振荡器在使能信号发出的第一电平信号下开启振荡，产生交流信号，所述反相器模块在所述使能信号下导通，交流信号通过反相器加载在被测器件上；在使能信号发出的第二电平信号下，所述环形振荡器停止振荡，使所述反相器模块关断，此时即可对被测器件进行相关直流测试，从而简化了测试设备和测试步骤，节省了测试时间，提高了测试效率。
专利权项：1.一种测试电路，用于在使能信号控制下向被测器件提供交流信号，所述使能信号包括依次输出的第一电平信号和第二电平信号，所述第一电平信号与所述第二电平信号不同，其特征在于，包括：环形振荡器，用于接收所述使能信号，且在接收到所述第一电平信号时开启振荡，产生交流信号；反相器模块，输入端与所述环形振荡器的输出端相连，用于接收所述交流信号，输出端与所述被测器件相连；所述反相器模块，还用于在接收所述第一电平信号时导通，在接收所述第二电平信号时关断。
百度查询： 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 测试电路、测试系统及其测试方法
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