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掩膜版防尘膜组件的制备方法 

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申请/专利权人:合肥禄飞光电科技有限公司

摘要:本发明公开了掩膜版防尘膜组件的制备方法,所述制备方法包括以下步骤:S1、将用于遮盖掩膜版的框架涂上胶黏剂,同时在基板上涂布氟树脂;S2、将框架和基板放入烤箱中,使得胶黏剂和氟树脂固化;S3、将基板上氟树脂固化形成的防尘膜揭下,并将防尘膜粘附在框架上;S4、使用裁切装置对框架边缘多余的薄膜进行裁切,最后将其进行封装处理。本发明中,首先,通过控制滑接架的水平移动,即可实现对薄膜多余部分的换边裁切,在方便工作人员操作的同时,达到简化设备的运行程序,提高加工效率的目的,其次,通过控制滑板的竖向移动,实现对框架裁切边调整的同时,对裁刀的间距进行适配性调整,从而有利于进一步提高对薄膜多余部位的裁切效率。

主权项:1.掩膜版防尘膜组件的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:S1、将用于遮盖掩膜版的框架涂上胶黏剂,同时在基板上涂布氟树脂;S2、将框架和基板放入烤箱中,使得胶黏剂和氟树脂固化;S3、将基板上氟树脂固化形成的防尘膜揭下,并将防尘膜粘附在框架上;S4、使用裁切装置对框架边缘多余的薄膜进行裁切,最后将其进行封装处理;所述制备方法所涉及的裁切装置包括:加工台1,所述加工台1的上端转动连接有用于对粘有防尘膜框架搭放的托板2,所述加工台1的上端通过支架转动连接有横轴3,所述横轴3的外侧滑动套设有两个滑套5,所述横轴3的外侧滑动连接有与滑套5相固定的裁刀6;所述加工台1的底部竖向滑动有滑板22,所述加工台1底部设置有第一连动件和第二连动件,所述加工台1在竖向移动时,通过第一连动件驱使托板2转动,通过第二连动件驱使两个滑套5沿横轴3滑动;所述加工台1中贯穿滑动有滑接架4,所述加工台1底部设置有驱使滑接架4转动的驱动件,所述加工台1上设置有传动件和导动件,所述滑接架4在滑动远离托板2时,横轴3在传动件的作用下带动裁刀6对薄膜进行裁切,所述滑接架4在滑动靠近托板2时,随着裁刀6转动抬升一定角度后,滑板22将在导动件的作用下竖向移动。

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权利要求:

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