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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
摘要：本发明提供一种弱耦合谐振式传感器宽温区线性工作补偿方法，属于MEMS传感器控制技术领域，通过测温环节、函数关系环节和加法器实现调谐电压自动跟踪温度，所述测温环节依据温度变化产生电压输出，再经由函数关系环节使其输出满足弱耦合谐振器线性工作时的频率‑温度系数对应的电压‑温度关系，然后通过加法器进行计算获得谐调电压，并将此电压施加在调谐电极，从而改变弱耦合谐振器的耦合状态，调整弱耦合谐振器的工作点，最终使传感器在各温度下的输出曲线基本重合且保持线性关系。本发明的适应性强，可用于所有基于弱耦合诱导模态局域化工作的传感器中。
主权项：1.弱耦合谐振式传感器宽温区线性工作补偿方法，其特征在于，通过测温环节、函数关系环节和加法器实现调谐电压自动跟踪温度，所述测温环节依据温度变化产生电压输出VRT，再经由函数关系环节使其输出满足耦合的两个谐振器线性工作时的频率-温度系数对应的调谐电压-温度关系，确定调谐电压使每个温度下的弱耦合谐振式传感器的耦合的两个谐振器的振动幅度信号的比值为指定值A，然后通过加法器实现如式1所示的关系，获得谐调电压，并将谐调电压施加在调谐电极，从而改变耦合的两个谐振器的耦合状态，调整耦合的两个谐振器的工作点； 1上式中，VT0为耦合的两个谐振器初始调谐电压，其值为初始工作温度T0和设定的固定待测量值条件下的调谐电压数值；VT为当前环境温度T下的谐调电压；g·为调谐电压-温度函数关系，通过对耦合的两个谐振器进行校准测试得到。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 弱耦合谐振式传感器宽温区线性工作补偿方法
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