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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：示例性模块化气体输送组件可包括耦接在一起的多个模块化气体区块。各气体区块可包括上部和下部。所述上部的第一端可延伸超过所述下部的第一端，并且所述下部的第二端可延伸超过所述上部的第二端。第一流体通道可包括第一流体口、第二流体口、和第三流体口。所述区块主体可界定第二流体通道，所述第二流体通道横向于所述第一流体通道延伸。第一模块化气体区块可与第二模块化气体区块和第三模块化气体区块耦接，使得所述第一模块化气体区块、所述第二模块化气体区块、和所述第三模块化气体区块中的每一者的所述第一流体通道彼此流体耦接。
主权项：1.一种模块化气体输送组件，包括：多个模块化气体区块，所述多个模块化气体区块耦接在一起以形成气体路径，所述气体路径沿着所述模块化气体输送组件的长度和宽度，所述多个模块化气体区块中的每个模块化气体区块包括区块主体，所述区块主体具有上部和下部，其中：所述上部的第一端延伸超过所述下部的第一端，并且所述下部的第二端延伸超过所述上部的第二端；所述区块主体的纵向轴从所述上部的所述第一端延伸至所述上部的所述第二端；所述区块主体界定沿所述纵向轴延伸的第一流体通道，所述第一流体通道包括：第一流体口，所述第一流体口延伸通过所述下部的所述第二端的上表面；第二流体口，所述第二流体口延伸通过所述上部的内侧区域的上表面；以及第三流体口，所述第三流体口延伸通过所述上部的所述第一端的下表面；所述区块主体界定第二流体通道，所述第二流体通道横向于所述纵向轴和所述第一流体通道延伸；以及所述多个模块化气体区块的第一模块化气体区块与所述多个模块化气体区块的第二模块化气体区块和所述多个模块化气体区块的第三模块化气体区块耦接，使得所述第一模块化气体区块、所述第二模块化气体区块、以及所述第三模块化气体区块中的每一者的所述第一流体通道彼此流体耦接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 模块化的多方向性气体混合区块
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