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申请/专利权人：星钥(珠海)半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆边缘轮廓检测装置，应用于晶圆检测领域，包括：晶圆控制平台、信号处理部件、光源部件，以及与光源部件适配的相机；晶圆控制平台的表面设置有晶圆承载区域，光源部件和相机分别与晶圆承载区域的待检测区域对应设置；晶圆控制平台中设置有旋转控制部件和轴向运动控制部件；轴向运动控制部件驱动晶圆控制平台沿轴向运动，以调整相机与待检测区域中台阶轮廓间的物距；信号处理部件与相机通信连接。本实用新型利用旋转控制部件和轴向运动控制部件调整相机与待检测区域中台阶轮廓之间的物距，使相机能够采集到台阶轮廓处清晰的图像信息，实现晶圆边缘轮廓的自动检测，提高了检测的精度。
主权项：1.一种晶圆边缘轮廓检测装置，其特征在于，包括：晶圆控制平台、信号处理部件、光源部件，以及与所述光源部件适配的相机；所述晶圆控制平台的表面设置有晶圆承载区域，所述光源部件和所述相机分别与所述晶圆承载区域的待检测区域对应设置，以使所述光源部件发出的检测光照射所述待检测区域，且所述相机采集经所述待检测区域反射的检测光和所述待检测区域的图像信息；所述待检测区域为所述晶圆承载区域中放置待检测晶圆时，对应所述待检测晶圆的边缘修饰形成的台阶轮廓的区域；所述晶圆控制平台中设置有旋转控制部件和轴向运动控制部件；所述轴向运动控制部件驱动所述晶圆控制平台沿轴向运动，以调整所述相机与所述待检测区域中所述台阶轮廓间的物距；所述信号处理部件与所述相机通信连接，以利用所述信号处理部件根据所述相机采集的信息得到检测结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星钥(珠海)半导体有限公司 一种晶圆边缘轮廓检测装置
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