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蚀刻机台脱膜清洗段用摇摆瀑布式清洗管 

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申请/专利权人:南通卓力达金属科技有限公司

摘要:本实用新型公开蚀刻机台脱膜清洗段用摇摆瀑布式清洗管,包括固定支架、设置于固定支架的驱动机构以及设置于固定支架的清洗管,驱动机构驱动清洗管呈往复性摇摆,第一连接件为h型摆臂,h型摆臂的上下两端分别与固定支架和清洗管铰接,h型摆臂的第三端与驱动机构连接,第二连接件为直型摆臂,直型摆臂的上下两端分别与固定支架和清洗管铰接,清洗管包括清洗内管以及套设于清洗内管的清洗外管,清洗内管的侧壁和清洗外管的侧壁均开设有长条状开口,清洗内管和清洗外管的长条状开口相通。本申请的清洗管采取线段式出水,使得工件受力更为均匀,且开口大,不容易被堵塞,同时,通过驱动机构使清洗管左右摇摆,使得工件清洗基本无死角。

主权项:1.蚀刻机台脱膜清洗段用摇摆瀑布式清洗管,其特征在于,包括固定支架10、设置于所述固定支架10的驱动机构以及设置于所述固定支架10的清洗管20,所述驱动机构驱动所述清洗管呈往复性摇摆,所述固定支架10和所述清洗管20通过第一连接件30和第二连接件40连接,所述第一连接件30为h型摆臂,所述h型摆臂的上下两端分别与所述固定支架10和清洗管20铰接,所述h型摆臂的第三端与所述驱动机构连接,所述第二连接件40为直型摆臂,所述直型摆臂的上下两端分别与所述固定支架10和清洗管20铰接,所述清洗管20包括清洗内管21以及套设于所述清洗内管21的清洗外管22,所述清洗内管21的侧壁和清洗外管22的侧壁均开设有长条状开口50,所述清洗内管21和清洗外管22的长条状开口相通,所述清洗内管21的一端连接有水管接头23,另一端连接有堵头24。

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