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申请/专利权人：兰州理工大学
摘要：本发明提出了一种背入射增强型氧化镓日盲紫外光电探测器及其制备方法，包括依次堆叠的电极、光吸收层以及衬底，其中，所述衬底用于透过日盲紫外光，采用双抛透明蓝宝石；所述光吸收层用于吸收日盲紫外光，采用氧化镓薄膜；所述电极与所述光吸收层欧姆接触。本发明的日盲紫外光电探测器的制备工艺简单，器件性能优异，可探测日盲紫外光信号，适用于探测性能好，灵敏度高的日盲紫外光探测系统。
主权项：1.一种背入射增强型氧化镓日盲紫外光电探测器，其特征在于，包括依次堆叠的电极、光吸收层和衬底，其中，所述衬底用于透过日盲紫外光，其正反两面的粗糙度均不大于0.3nm；所述光吸收层用于吸收日盲紫外光，采用氧化镓薄膜；所述电极与所述光吸收层欧姆接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兰州理工大学 一种背入射增强型氧化镓日盲紫外光电探测器及其制备方法
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