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申请/专利权人：苏州润邦半导体材料科技有限公司
摘要：本发明涉及一种PHS树脂的制备方法，属于光刻胶技术领域。本发明的PHS树脂的制备方法，包括以下步骤：S1、将苯乙烯基单体、12‑35第一溶剂和13‑12引发剂混合均匀，得到混合液；S2、保护气氛下，向离子交换树脂和剩余第一溶剂的混合体系中滴加混合液，分步加入剩余引发剂进行分阶段聚合反应，经过滤得到中间体聚合物溶液；S3、将中间体聚合物溶液溶于第二溶剂，加入多孔吸附材料并调节pH至2.5‑3.5后进行脱保护基反应，经过滤、沉淀、干燥得到PHS树脂。本发明分别在聚合反应和脱保护基反应阶段引入离子交换树脂和多孔吸附材料，引入的离子交换树脂和多孔吸附材料不参与反应的进行，但是反应条件下可以更好的促进这种材料对金属杂质的去除。
主权项：1.一种PHS树脂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将苯乙烯基单体、12-35第一溶剂和13-12引发剂混合均匀，得到混合液；S2、保护气氛下，向离子交换树脂和剩余第一溶剂的混合体系中滴加S1所述的混合液，分步加入剩余引发剂进行分阶段聚合反应，经过滤得到中间体聚合物溶液；S3、将S2所述的中间体聚合物溶液溶于第二溶剂，加入多孔吸附材料并调节pH至2.5-3.5后进行脱保护基反应，经过滤、沉淀、干燥得到所述的PHS树脂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州润邦半导体材料科技有限公司 一种PHS树脂的制备方法
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