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申请/专利权人：北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
摘要：本申请涉及光学技术领域，尤其是涉及一种显微镜照明组件及显微镜，显微镜照明组件包括第一透镜组件、反射镜和半透半反镜；第一透镜组件具有第一轴线，第一透镜组件和反射镜间隔排布于第一轴线；半透半反镜设置于第二轴线；其中，第一轴线和第二轴线平行地间隔设置，反射镜在第一轴线和第二轴线相对方向上的至少部分正投影落在半透半反镜上。显微镜包括该显微镜照明组件。该显微镜照明组件和显微镜，显著缩短了物镜组件在垂直于主轴线方向的尺寸，减小了物镜组件所占空间，解决了容易与其他机械件发生干涉的问题，提高了显微镜照明组件的位置调节灵活性，进而有利于提高显微镜的紧凑性，增强其适用性。
主权项：1.一种显微镜照明组件，其特征在于，包括第一透镜组件、反射镜和半透半反镜；所述第一透镜组件具有第一轴线，所述第一透镜组件和所述反射镜间隔排布于所述第一轴线；所述半透半反镜设置于第二轴线；其中，所述第一轴线和所述第二轴线平行地间隔设置，所述反射镜在所述第一轴线和所述第二轴线相对方向上的至少部分正投影落在所述半透半反镜上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 显微镜照明组件及显微镜
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