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申请/专利权人:合肥维信诺科技有限公司
摘要:本申请提供一种阵列基板、阵列基板的制作方法、显示面板及显示装置,涉及显示面板制造技术领域,该阵列基板包括基板、有源层、栅绝缘层、栅极层、层间介质层和第一膜层,有源层、栅绝缘层、栅极层、层间介质层依次层叠设置在基板上;阵列基板上设置有贯穿层间介质层和栅绝缘层的第一孔,第一膜层覆盖第一孔的内壁面并形成第二孔,第二孔的孔底露出有源层。本申请提供的阵列基板可形成侧壁光滑的过孔,能够避免源漏极断裂,解决TFT断路的问题,避免显示面板出现暗点不良,提升显示面板的显示效果。
主权项:1.一种阵列基板,其特征在于,包括基板、有源层、栅绝缘层、栅极层、层间介质层和第一膜层,所述有源层、所述栅绝缘层、所述栅极层和所述层间介质层依次层叠设置在所述基板上;所述阵列基板上设置有贯穿所述层间介质层和所述栅绝缘层的第一孔,所述第一孔连通至所述有源层表面,所述第一孔的侧壁具有锯齿状台阶面,所述第一膜层覆盖所述第一孔的内壁面并形成第二孔,所述层间介质层的表面未覆盖所述第一膜层,所述第二孔的孔底露出所述有源层。
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权利要求:
百度查询: 合肥维信诺科技有限公司 阵列基板、阵列基板的制作方法、显示面板及显示装置
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