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申请/专利权人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
摘要:本申请提供了一种显示面板,所述显示面板的薄膜晶体管阵列基板包括衬底、遮光层、金属走线层、缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极、源极、漏极、第一钝化层、平坦化层、公共电极层、第二钝化层和像素电极层,其中,栅极绝缘层设置在有源层上,栅极设置在栅极绝缘层上,源极设置在缓冲层和有源层上,源极的一部分位于第一过孔内,源极与栅极绝缘层具有间隔,漏极的至少一部分设置在有源层上,栅极位于源极和漏极之间,漏极与栅极绝缘层具有间隔。本申请可以减少显示面板的制程中所需要的光罩数量。
主权项:1.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板的薄膜晶体管阵列基板包括:衬底;遮光层,设置在所述衬底上;金属走线层,设置在所述衬底上;缓冲层,设置在所述衬底上,并且覆盖所述遮光层和所述金属走线层,所述缓冲层设有第一过孔,所述第一过孔贯穿所述缓冲层并暴露至少一部分所述金属走线层;有源层,设置在所述缓冲层上;栅极绝缘层,设置在所述有源层上;栅极,设置在所述栅极绝缘层上;源极,设置在所述缓冲层和所述有源层上,所述源极通过第一过孔与所述金属走线层连接,所述源极与所述栅极绝缘层具有间隔;漏极,所述漏极的至少一部分设置在所述有源层上,所述栅极位于所述源极和所述漏极之间,所述漏极与所述栅极绝缘层具有间隔;第一钝化层,覆盖在所述栅极、所述栅极绝缘层、所述有源层、所述源极和所述漏极上,所述第一钝化层设有第二过孔,所述第二过孔贯穿所述第一钝化层;平坦化层,设置在所述第一钝化层上,所述平坦化层设有第三过孔,所述第三过孔贯穿所述平坦化层,所述第三过孔与所述第二过孔对应设置;公共电极层,设置在所述平坦化层上;第二钝化层,设置在所述平坦化层上,并且覆盖所述公共电极层,所述第二钝化层设有第四过孔,所述第四过孔贯穿所述第二钝化层,且暴露至少一部分所述漏极,所述第四过孔与所述第三过孔对应设置;像素电极层,设置在所述第二钝化层上,并通过所述第二过孔、第三过孔和第四过孔与所述漏极接触。
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