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申请/专利权人：楚赟精工科技(上海)有限公司
摘要：本实用新型提供了一种公转基座，通过设置本体基座和内置基座，本体基座底面开设有通气道以内外相通，内部设置有进气通道；内置基座底面开设有底部封闭槽，底部封闭槽内悬设有转动驱动部，转动驱动部的顶部自内置基座顶面伸出并配置为转动适配部；内置基座设于本体基座内，本体基座底部与内置基座底部围成有包含底部封闭槽的导气通道；导气通道与进气通道相通，底部封闭槽与通气道相通，采用分离式设计的公转基座，能够延长驱动气体向上逸出的气路，并利用内外连通的通气道，驱动气体在驱动转动驱动部转动后绝大部分能从该通气道排出，从而能够减少或阻止驱动气体的向上逸出对成膜均匀性的影响。
主权项：1.一种公转基座，其特征在于，包括本体基座和内置基座：所述本体基座底面开设有通气道以内外相通，内部设置有进气通道；所述内置基座底面开设有底部封闭槽，所述底部封闭槽内悬设有转动驱动部，所述转动驱动部的顶部自所述内置基座顶面伸出并配置为转动适配部；所述内置基座设于本体基座内，所述本体基座底部与所述内置基座底部围成有包含所述底部封闭槽的导气通道；所述导气通道与所述进气通道相通，所述底部封闭槽与所述通气道相通。
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权利要求：
百度查询： 楚赟精工科技(上海)有限公司 公转基座
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