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申请/专利权人:北京航空航天大学合肥创新研究院
摘要:本申请提供了一种磁控溅射样本旋转控制装置及设备,所述装置包括底座、连接轴、供电基座、固定背板以及旋转台;所述底座中设置有电机,所述电机的输出轴与所述连接轴连接;所述连接轴与所述固定背板和所述旋转台分别固定连接,所述电机通过所述连接轴带动所述固定背板和所述旋转台转动;所述供电基座通过导电结构与所述固定背板和所述旋转台滑动连接,对所述旋转台施加偏压。本申请可保证薄膜的均匀性和致密性。
主权项:1.一种磁控溅射样本旋转控制装置,其特征在于,包括底座、连接轴、供电基座、固定背板以及旋转台;所述底座中设置有电机,所述电机的输出轴与所述连接轴连接;所述连接轴与所述固定背板和所述旋转台分别固定连接,所述电机通过所述连接轴带动所述固定背板和所述旋转台转动;所述供电基座通过导电结构与所述固定背板和所述旋转台滑动连接,对所述旋转台施加偏压。
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权利要求:
百度查询: 北京航空航天大学合肥创新研究院 磁控溅射样本旋转控制装置及设备
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