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申请/专利权人：江苏卓远半导体有限公司
摘要：本发明公开一种单晶硅棒旋转提拉装置用提拉杆，包括主杆，主杆内部镂空形成内腔且主杆的头端和尾端均开口，主杆的外侧壁上设有上气口座，上气口座上设有连通外部与主杆的内腔的上气流口；上堵头，上堵头安装在主杆的头端且可将主杆的头端密封。本发明的有益效果是：本技术方案在主杆的内腔中填充冷却液，当高温气流从下气流口经过下气流道进入盘管组件，高温气流依次从内层、中层和外层内充分与冷却液接触，使得高温气流温度迅速降低，最后从上气流口排出并收集，本技术方案结构稳定，降温效果好，盘管组件的内层、中层和外层设计将冷却通道加长，冷却效果提升明显。
主权项：1.一种单晶硅棒旋转提拉装置用提拉杆，其特征在于：包括一主杆100，所述主杆100内部镂空形成内腔且主杆100的头端和尾端均开口，所述主杆100的外侧壁上设有上气口座110，所述上气口座110上设有连通外部与主杆100的内腔的上气流口120；一上堵头200，所述上堵头200安装在主杆100的头端且可将主杆100的头端密封；一下堵头300，所述下堵头300安装在主杆100的尾端且可将主杆100的尾端密封，所述下堵头300的外侧壁上设有下气口座321，所下气口座321上设有下气流口322和下气流道323，所述下气流道323将主杆100的内腔与外部连通；一盘管组件400，所述盘管组件400安装在主杆100的内腔中，所述盘管组件400的顶部与上气流口120对接安装，所述盘管组件400的底部与下气流道323对接安装；一提拉头，所述提拉头安装在下堵头300的底部；所述主杆100、上堵头200、下堵头300和提拉头同轴设置。
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权利要求：
百度查询： 江苏卓远半导体有限公司 一种单晶硅棒旋转提拉装置用提拉杆
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