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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种能够防止从腔室对衬底造成的金属污染的钝化方法及热处理装置。热处理装置的腔室由不锈钢形成。使腔室内减压之后，将臭氧导入到所述腔室内，并停止供气及排气而将臭氧封入在腔室内。在经过臭氧的半衰期以下的待机时间的期间，维持臭氧被封入在腔室内的状态。通过具有极强的氧化能力的臭氧作用在由不锈钢形成的腔室的内表面，而在该内表面形成惰性的钝态皮膜。该惰性的钝态皮膜抑制锰从不锈钢的腔室析出，因此，当在腔室内进行半导体晶圆的加热处理时，也能够防止从腔室对半导体晶圆造成的金属污染。
主权项：1.一种钝化方法，其特征在于：在对衬底进行热处理的热处理装置的腔室内表面形成钝态皮膜，且具备：气体导入工序，将氧化性气体导入到包含不锈钢的腔室内；及钝态化工序，利用所述氧化性气体在所述腔室的内表面形成钝态皮膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 钝化方法及热处理装置
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