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申请/专利权人：株式会社博迈立铖
摘要：由供材料气体流动的流路、对流路进行加热的一个或两个以上能够更换的加热器、与加热器连结且使加热器向接近流路的方向或远离流路的方向位移的操纵器、规定加热器的可动区域的引导件、以及使操纵器和引导件的位置关系固定的止挡件构成气化器。由此，实现一种即使在宽度较窄而密集地设置的情况下也能够容易地进行加热器的更换的气化器。优选的是，操纵器的至少局部存在于能够经由通过拆卸壳体的开口面而出现的开口部而用手指直接触碰的位置。
主权项：1.一种气化器，其使半导体制造用的材料气体的前体气化而生成材料气体，其中，该气化器具备：流路，其供材料气体流动；一个或两个以上的能够更换的加热器，其对所述流路进行加热；操纵器，其与所述加热器连结，使所述加热器向接近所述流路的方向或远离所述流路的方向位移；引导件，其规定所述加热器的可动区域；以及止挡件，其使所述操纵器和所述引导件的位置关系固定。
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