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申请/专利权人：雷神等离子科技(杭州)有限公司
摘要：一种高灵敏度与高精度等离子浓度数据处理装置及处理方法，其桥式检测模块，检测等离子浓度的灵敏度高。同现有技术相比，结构简单，体积小，高灵敏度与高精度等离子浓度数据处理装置能做到宽约5cm,长约8cm。测量动态范围大，其范围能达到109～1019，10个数量级。如果自动变档，范围可以更大。造价低，无需高精尖传感器，逻辑简单，无需复杂计算的软件配合。由于采用桥式检测模块，工作稳定，不易产生漂移。无需高电压，人体安全。半导体器件能够加防水密封措施，使用寿命长。
主权项：1.一种高灵敏度与高精度等离子浓度数据处理装置的处理方法，其特征在于，包括：步骤1：待测等离子气体进入桥式检测模块，让高频交流电源接入桥式检测模块，桥式检测模块的A点和B点就输出对应于等离子气体的待测等离子浓度的电势差值；步骤2：将作为差压的电势差值送入信息处理模块的对数放大器的输入端执行放大，获得大动态的电位放大值来作为对数放大器的输出值；步骤3：对数放大器的输出值经过信息处理模块的整流滤波稳压模块实现对对数放大器7的输出值的整流、滤波及稳压，以此得到整流、滤波及稳压后的调整值；步骤4：将整流、滤波及稳压后的调整值经由信息处理模块的模数转换器执行模数转换，模数转换后得到模数转换后的调整值；步骤5：利用信息处理模块的控制器的数字处理算法软件实现将模数转换后的调整值转化为线性关系下的待测等离子气体的等离子浓度数据；步骤6：将待测等离子气体的等离子浓度数据显示在结果显示模块的显示屏上。
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百度查询： 雷神等离子科技(杭州)有限公司 高灵敏度与高精度等离子浓度数据处理装置及处理方法
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