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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：本发明公开了一种应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计，涉及谐振加速计技术领域，该芯片包括石英基底和石英谐振器，石英谐振器包括依次连接的上隔离盘、音叉振梁和下隔离盘；上隔离盘上由外向内依次开设有第一上隔离槽、第二上隔离槽和第三上隔离槽，下隔离盘上由外向内依次开设有第一下隔离槽、第二下隔离槽和第三下隔离槽；第一上隔离槽和第一下隔离槽、第二上隔离槽和第二下隔离槽以及第三上隔离槽和第三下隔离槽构成三级应力隔离结构。本发明采用全石英结构，降低了因异质材料热膨胀系数不同所引入的热应力干扰；依靠高效的三级隔离槽隔离外部可能影响谐振器应力分布的干扰。
主权项：1.一种应力自隔离的石英谐振加速度计芯片，其特征在于，包括石英基底和石英谐振器；所述石英谐振器包括依次连接的上隔离盘14、音叉振梁15和下隔离盘16，所述上隔离盘14和下隔离盘16相互远离的一端端部与石英基底一侧粘贴；所述上隔离盘14上由外向内依次开设有第一上隔离槽14a、第二上隔离槽14b和第三上隔离槽14c，所述下隔离盘16上由外向内依次开设有第一下隔离槽16a、第二下隔离槽16b和第三下隔离槽16c；所述第一上隔离槽14a与第一下隔离槽16a、第二上隔离槽14b与第二下隔离槽16b、第三上隔离槽14c与第三下隔离槽16c分别关于音叉振梁15对称设置；所述第一上隔离槽14a和第一下隔离槽16a、第二上隔离槽14b和第二下隔离槽16b以及第三上隔离槽14c和第三下隔离槽16c构成三级应力隔离结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计
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