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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

摘要：本申请提供的球面波曝光干涉场在线调控系统及调控方法，入射光经过分束光栅得到两束衍射光，两束衍射光入射到空间滤波器并被扩束为球面波，两束球面波在基准光栅表面形成Moiré条纹。通过微调分束光栅位置改变两衍射光束的相位以实现相移。使用相机拍摄相移得到的Moiré条纹图像，并从图像中提取Moiré条纹相位分布，根据提取的相位信息拟合出刻线分布函数系数。粗略测量记录参数的值作为初值，并进行局部寻优以得到记录参数实际值。根据测量得到的记录参数实际值，通过自动校准空间滤波器的空间位置。经过多次测量及校准使记录参数测量结果接近目标值，实现曝光干涉场在线调控，提升测量精度和效率。

主权项：1.一种球面波曝光干涉场在线调控系统，其特征在于，包括激光器1、分束光栅2、第一反射镜3、第二反射镜4、第三反射镜5、第四反射镜6、第一光束位置探测器713、第一空间滤波器714、第二光束位置探测器723、第二空间滤波器724、基准光栅8、CCD相机9及控制器10；所述激光器1出射的入射光经过所述分束光栅2得到第一衍射光及第二衍射光；所述第一衍射光依次经过所述第一反射镜3、所述第三反射镜5后依次进入所述第一光束位置探测器713及所述第一空间滤波器714；所述第二衍射光依次经过所述第二反射镜4、所述第四反射镜6后依次所述第二光束位置探测器723及所述第二空间滤波器724；分别入射到所述第一空间滤波器714和所述第二空间滤波器724的两衍射光光束并被扩束为球面波，两束球面波在所述基准光栅8表面形成Moiré条纹；微调所述分束光栅2的位置，从而改变两衍射光束的相位以实现相移；所述CCD相机9拍摄相移得到Moiré条纹图像；所述控制器10可根据所述CCD相机9拍摄相移得到的Moiré条纹图像，并利用相移算法从所述Moiré条纹图像中提取Moiré条纹相位分布，根据提取的相位信息拟合出刻线分布函数系数；粗略测量记录参数的值作为初值，并利用重建算法进行局部寻优以得到记录参数实际值；根据测量得到的记录参数实际值，自动校准所述第一空间滤波器714和所述第二空间滤波器724的空间位置；经过多次测量及校准使记录参数测量结果接近目标值，实现曝光干涉场在线调控。

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权利要求：

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