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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明的检查装置包括：能够载置形成有电子器件的基片载置台，其中，与基片侧相反的一侧由光透射材料形成，并且具有供可透射光的致冷剂流过的致冷剂流路；光照射机构，其以与载置台的跟基片侧相反的一侧对置的方式配置，具有面向基片的多个LED；和控制部，其控制由该致冷剂进行的吸热和由LED进行的加热，控制作为检查对象的电子器件的温度，该控制部具有：温度信息获取部，其获取检查对象的温度的信息；加热控制部，其通过基于当前检查对象的温度的闭环控制，进行LED对检查对象的加热的控制；吸热控制部，其基于过去的检查中的电子器件的温度的变迁，推断下次检查时对检查对象施加的电功率的变迁，通过基于推断出的电功率的变迁的开环控制，进行下次检查时的致冷剂从检查对象的吸热的控制。
主权项：1.一种检查电子器件的检查装置，其特征在于，包括：载置形成有所述电子器件的基片的载置台，其中，与所述基片的载置侧相反的一侧由光透射材料形成，并且在内部具有供可透射光的致冷剂流动的致冷剂流路；光照射机构，其以与所述载置台的跟所述基片的载置侧相反的一侧的面对置的方式配置，具有面向所述基片的多个LED；和控制部，其控制由流过所述致冷剂流路的致冷剂进行的吸热和由来自所述LED的光进行的加热，控制作为检查对象的所述电子器件的温度，所述控制部具有：温度信息获取部，其获取作为检查对象的电子器件的温度的信息；加热控制部，其通过基于作为当前检查对象的所述电子器件的温度的闭环控制，进行来自所述LED的光对作为检查对象的所述电子器件的加热的控制；和吸热控制部，其基于过去的检查中的所述电子器件的温度的变迁，推断下次检查时对所述电子器件施加的电功率的变迁，通过基于所述推断出的所述电功率的变迁的开环控制，进行所述下次检查时的所述致冷剂从作为检查对象的所述电子器件的吸热的控制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 检查装置和温度控制方法
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