龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：FEI公司
摘要：提供了用于获取电子反向散射衍射图样的各种方法和系统。在一个实例中，通过将带电粒子束引向ROI内的多个撞击点并检测从所述多个撞击点散射的粒子来执行第一次扫描。基于检测到的粒子来计算所述多个撞击点中的每个撞击点的信号质量。基于每个撞击点的所述信号质量来计算所述ROI的信号质量。响应于所述ROI的所述信号质量低于阈值信号质量，执行对所述ROI的第二次扫描。可以基于检测到的来自所述第一次扫描和所述第二次扫描两者的粒子来形成样品的结构图像。
主权项：1.一种用于对样品进行成像的方法，其包含：通过将带电粒子束引向感兴趣区域内的多个撞击点，并检测从所述多个撞击点中的每个撞击点散射的粒子来执行第一次扫描；基于从所述撞击点散射的所述检测到的粒子，计算所述多个撞击点中的每个撞击点的信号质量；基于每个撞击点的所述信号质量，计算所述感兴趣区域的信号质量，其中所述感兴趣区域的所述信号质量低于阈值信号质量；通过在计算所述感兴趣区域的所述信号质量之后，将所述带电粒子束引向所述感兴趣区域内的所述多个撞击点中的一个或多个，并检测从所述感兴趣区域内的所述多个撞击点中的所述一个或多个散射的粒子来执行第二次扫描；基于在所述第一次扫描和所述第二次扫描期间从所述撞击点散射的所述检测到的粒子形成所述多个撞击点中的每个撞击点的电子反向散射衍射EBSD图样；和基于所述电子反向散射衍射图样形成所述感兴趣区域的结构图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 用于获取电子反向散射衍射图样的方法和系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号