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申请/专利权人：青岛天仁微纳科技有限责任公司

摘要：本发明提出一种双面纳米压印设备，其特征在于，包括：第一对位平台，其设置于底部；工作台，其与第一竖向移动部a连接；第二对位平台，其设置于工作台上方；吸盘，与第二竖向移动部a连接，且与工作台相对；支撑装置，其设置有两个，且位于工作台与吸盘之间，呈相对设置，两支撑装置可在水平方向上相向或相背伸缩；对位检测装置，且设置于吸盘上方，与第一竖向移动部b连接；还包括控制器。本发明能够实现双面压印，提高压印精度及成品率，以及压印效率，实现了大规模量产。

主权项：1.一种双面纳米压印设备，其特征在于，包括：第一对位平台，其设置于底部，包括第一横向移动部、与第一横向移动部连接的第一竖向移动部a、以及第一竖向移动部b；工作台，其与第一竖向移动部a连接，在所述工作台上设置有第一透明板，以及与真空泵连接的第一真空槽，所述第一真空槽位于所述第一透明板外侧，以通过在第一真空槽内产生负压将第一模板固定在工作台上表面；所述第一真空槽呈矩形设置，且在第一真空槽四个直角的外侧分别设置第一定位槽，以定位第一模板；第二对位平台，其设置于工作台上方，包括第二横向移动部、与第二横向移动部连接的第二竖向移动部a、以及第二竖向移动部b；吸盘，与第二竖向移动部a连接，且与工作台相对，在吸盘上设置有第二透明板，以及与真空泵连接的第二真空槽，以通过在第二真空槽内产生负压将第二模板固定在吸盘下表面；所述第二真空槽呈矩形设置，且在第二真空槽四个直角的外侧分别设置第二定位槽，以定位第二模板；支撑装置，其设置有两个，且位于工作台与吸盘之间，呈相对设置，两支撑装置可在水平方向上相向或相背伸缩，且两支撑装置上分别具有可旋转的夹持部，以用于夹持具有对位标记的基片；所述支撑装置包括支撑块，以及与支撑块连接有伸缩杆，所述夹持部设置在伸缩杆上；所述夹持部包括与伸缩杆连接的连接块，与连接块连接的弧形导轨，以及与弧形导轨连接的具有弧形夹持端的夹持手；对位检测装置，且设置于吸盘上方，与第一竖向移动部b连接，用于检测第一模板、基片以及第二模板的对位；所述对位检测装置包括与第一竖向移动部b连接的支撑臂，以及与支撑臂连接的检测单元；还包括紫外灯，其位于工作台下方，与第二竖向移动部b连接，可发出紫外光，以透过第一透明板以及第二透明板照射基片以及第二模板上的压印胶；还包括控制器，所述控制器为可编程序控制器，工作台固定第一模板，吸盘固定第二模板，支撑装置上的夹持部固定具有对位标记的基片，通过对位检测装置检测第一模板及第二模板与基片上对位标记的关系，并通过控制器控制第一横向移动部以及第二横向移动部横向微调，使第一模板及第二模板与基片上对位标记对应，通过第一竖向移动部a，以及第二竖向移动部a对应驱动工作台和吸盘升降，使第一模板上的压印胶与基片接触压印，同时，第二模板与基片上的压印胶接触压印，完成双面压印；其工作过程包括以下步骤：S1：归零各装置回到原点位置，准备开始压印；S2：上料将基片固定在支撑装置上伸缩杆驱动夹持手相向同步移动至略大于基片尺寸的位置，将基片放在夹持手之间，伸缩杆继续驱动夹持手相向同步移动，使夹持手与基片的边缘相抵，将基片固定在工作台与吸盘之间；2将第一模板固定在工作台上将第一模板上压印结构朝向吸盘，第一模板上的四角与第一定位槽对应，使第一模板的纳米结构位于工作台的中心位置，打开真空泵，通过在第一真空槽内产生的负压将第一模板固定在工作台的上表面；3将第二模板固定在吸盘上将第二模板上压印结构朝向工作台，第二模板上的四角与第二定位槽对应，使第二模板的纳米结构位于吸盘的中心位置，打开真空泵，通过在第二真空槽内产生的负压将第二模板固定在吸盘的下表面；S3：点胶在基片的上表面的中心处以及第一模板的上表面的中心处点滴压印胶，点滴在基片和第一模板中心处的压印胶胶体可以是相同的，也可以是不同的；S4：对位夹持手可在弧形导轨上移动，使基片上的对位标记到达指定位置，第一竖向移动部a、以及第二竖向移动部a对应的驱动工作台及吸盘靠近基片，对位检测装置在第一竖向移动部b的驱动下，靠近吸盘，并通过检测单元透过第二透明板观察对位标记，并将信号反馈至控制器，控制器控制夹持手调整，使对位标记的十字形结构与水平线平行，第一模板、第二模板上的直角边与基片上十字形的边的对应情况，并将对位信息反馈至控制器，控制器控制第一横向移动部a，以及第二横向移动部a微调，使第一模板、第二模板上的直角边与基片上十字形的边重合或平行，完成对准动作；S5：压印第一竖向移动部a，以及第二竖向移动部a对应驱动工作台和吸盘相向移动，使第一模板上的压印胶与基片缓慢接触，胶体从中心处慢慢向外扩展，将纳米结构填充，同时，第二模板与基片上的压印胶缓慢接触，胶体从中心处慢慢向外扩展，将纳米结构填充，完成压印；S6：紫外固化第二竖向移动部b驱动紫外灯向上移动，靠近工作台，紫外灯发出的紫外光，透过第二透明板，将基片于第一模板之间的压印胶，以及基片与第二模板之间的压印胶固化；S7：分离第一竖向移动部a，以及第二竖向移动部a对应驱动工作台和吸盘相背同步移动，将基片于第一模板分离，基片与第二模板分离，固化后的胶体粘附在基片上，完成双面压印。

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